deep-submicron是什么意思
deep-submicron是什么意思
微電子方面
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其他人氣：344 ℃時間：2020-02-05 07:54:42
優(yōu)質(zhì)解答
深亞微米,通常把0.8—0.35μm稱為亞微米,0.25μm及其以下稱為深亞微米,深亞微米制造的關(guān)鍵技術(shù)主要包括紫外光刻技術(shù)、等離子體刻蝕技術(shù)、離子注入技術(shù)、同互連技術(shù)等.
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