若實驗未開始,在蒸鍍的時候,遮上一塊硅片,根據(jù)探針測試法就可以知道二氧化硅薄膜厚度了.
如果已蒸鍍,可用氫氟酸和氟化氨溶液將二氧化硅腐蝕,不一定要劈尖狀,因為量一下腐蝕徹底的邊緣硅片厚度,再與硅片上二氧化硅薄膜完整的區(qū)域的厚度,一比較,就可知道薄膜厚度.
精確測量硅片上的二氧化硅薄膜的厚度
精確測量硅片上的二氧化硅薄膜的厚度
精確測量二氧化硅薄膜厚度時需要用化學方法把二氧化硅薄膜的一部分腐蝕掉,使它成為劈尖狀.請問:怎么把薄膜腐蝕成劈尖狀?
精確測量二氧化硅薄膜厚度時需要用化學方法把二氧化硅薄膜的一部分腐蝕掉,使它成為劈尖狀.請問:怎么把薄膜腐蝕成劈尖狀?
其他人氣：724 ℃時間：2020-04-19 06:00:46
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