首先這要看你的等離子體是屬于什么類型的等離子體?
依據(jù)等離子體中的重粒子溫度,可以把等離子體分為兩大類,熱等離子體和冷等離子體.
熱等離子體中,重粒子溫度為3×103 K—3×104 K,基本上達(dá)到了熱力學(xué)平衡,所以具有統(tǒng)一的熱力學(xué)溫度,可以用熱力學(xué)平衡狀態(tài)的麥克斯韋速度分布、波爾茲曼粒子能態(tài)幾率分布和沙哈方程等確定等離子體的狀態(tài)和參數(shù),例如電弧等離子體、高頻等離子體即屬于熱等離子體.由于熱等離子體的高能量密度,目前主要將其用于材料合成、球化、致密以及保護(hù)性涂層的沉積.
冷等離子體中重粒子溫度只有室溫左右,而電子溫度可達(dá)上萬(wàn)度,所以遠(yuǎn)離熱力學(xué)平衡狀態(tài),如輝光放電就屬于冷等離子體.冷等離子體主要用于等離子體刻蝕、沉積以及等離子體表面修飾.