細(xì)菌、真核生物以及噬菌體的RNA聚合酶有所不同,但都含有的亞基有α、β、β’和δ.
RNA聚合酶全酶形式為α2ββ’δ,共5個亞基.其中α亞基與RNA聚合酶的四聚體核心（α2ββ’）的形成有關(guān)；β亞基含有核苷三磷酸的結(jié)合位點(diǎn)；β’亞基含有與DNA模板的結(jié)合位點(diǎn)；而δ因子只與RNA轉(zhuǎn)錄的起始有關(guān),與鏈的延伸沒有關(guān)系,一旦轉(zhuǎn)錄開始,δ因子就被釋放,而鏈的延伸則由四聚體核心酶（core enzyme）催化.所以,δ因子的作用就是識別轉(zhuǎn)錄的起始位置,并使RNA聚合酶結(jié)合在啟動子部位.