乙烯是制造塑料、合成乙醇、乙醛、合成纖維等重要原料
三氯甲烷是有機(jī)合成的重要原料,用于制作氟里昂,脂類,樹脂,橡膠,油漆,磷和碘的溶劑.也用于合成纖維等.
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用.