加速度傳感器
加速度傳感器,包括由硅膜片、上蓋、下蓋,膜片處于上蓋、下蓋之間,鍵合在一起；一維或二維納米材料、金電極和引線分布在膜片上,并采用壓焊工藝引出導線；并把一維或二維納米材料連接成測量電橋；所述的信號處理電路包括：整流穩(wěn)壓電路、載波振蕩器、測量電橋和交流載波放大器.加速度(力)信號作用在質量塊上,使膜片發(fā)生應變,利用膜片上的納米材料測出應變,利用全橋檢測方法,將材料應變轉化為電信號,再通過一系列的信號處理過程,從而得到被測加速度信號的數值.根據本發(fā)明的這種微型膜片式加速度傳感器具有很高的靈敏度,并可進行批量生產.