輻射本身有多種,比如是光還是粒子,
還分按能量算還是按粒子數(shù)算,
還分國際單位制,還有一些習慣用的單位.
這樣單位就各種各樣了.
輻射就是指高能粒子流（射線）.每單位物質(zhì)質(zhì)量所接受的輻射能量稱為劑量,常用拉德（rad）或者戈瑞（Gray）作為計量單位,它們與其它常用能量單位之間的關系為：1rad = 100erg/g = 6.24×1013eV/g,1Gray = 1J/kg = 100rad.
顯然,在輻射強度一定的情況下,所接受到的輻射劑量與材料本身的原子密度有關；密度大者,接受的劑量大,密度小者,接受的劑量小.例如,對于常見的幾種微電子材料,其劑量之間的關系為：1rad（Si）= 0.58rad（SiO2）= 0.94rad（GaAs）.
整個材料或者器件所接受到的輻射劑量的總和,即稱為總劑量（TID）.
此外,在半導體器件和IC的抗輻射技術中,有時還會用到所謂輻射的通量和積分通量的概念.通量就是指單位時間、照射到單位面積上的高能粒子的數(shù)目,單位是[粒子數(shù)/(cm2-s)]；積分通量就是指在整個作用時間內(nèi)、照射到單位面積上的高能粒子的數(shù)目,單位是[粒子數(shù)/cm2].