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  • ECR微波等離子體離子參數(shù)的測量中 等離子體參數(shù)的測量方法有哪些?簡述其優(yōu)缺點(diǎn)?

    ECR微波等離子體離子參數(shù)的測量中 等離子體參數(shù)的測量方法有哪些?簡述其優(yōu)缺點(diǎn)?
    其他人氣:533 ℃時(shí)間:2020-10-02 03:36:54
    優(yōu)質(zhì)解答
    在等離子體診斷中,Langmuir探針是最早的等離子體診斷手段之一;是低氣壓冷等離子體應(yīng)用最廣泛的等離子體診斷工具.其突出優(yōu)點(diǎn)是:結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,能夠直接測量等離子體的局部V-I曲線,且根據(jù)測得的伏安曲線可導(dǎo)出等離子體密度、電子溫度和空間電位等參數(shù),而光譜測量等技術(shù),只能測得等離子體的平均參數(shù).
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