如何用等厚干涉檢驗(yàn)光學(xué)平面的表面質(zhì)量
如何用等厚干涉檢驗(yàn)光學(xué)平面的表面質(zhì)量
物理人氣：323 ℃時(shí)間：2020-03-30 02:22:47
優(yōu)質(zhì)解答
需要使用樣板,將被檢面置于樣板上,用相干光照射,用顯微鏡可觀測(cè)到干涉條紋,測(cè)量干涉條紋的寬度或者彎曲的程度,再利用干涉公式換算即可得到被檢面的凸起或凹陷程度.
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