從原理上講,多晶硅片各點間電阻率有差異是正常的.
既然是多晶硅,說明其中有許多晶粒和晶界.由于晶粒的大小不統(tǒng)一,所以在不同的測量點范圍內(nèi),包含的晶粒和晶界數(shù)量是不同的.又由于晶界的電阻率大于晶粒的電阻率,所以導致了“多晶硅片各點間電阻率差異大”.
多晶硅片各點間電阻率差異大,這是什么原因呢?
多晶硅片各點間電阻率差異大,這是什么原因呢?
硅片用MS203測試電阻率接近3.5左右,但是小方錠用RT1000測試電阻率最大值只有2.2左右.
硅片用MS203測試電阻率接近3.5左右,但是小方錠用RT1000測試電阻率最大值只有2.2左右.
物理人氣：979 ℃時間：2020-05-08 01:46:47
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