電子化學(xué)試劑按照純度分為UP—S級、UP級、EL級三個(gè)等級.
UP-S級:適用0.35-0.8微米集成電路加工工藝,金屬雜質(zhì)含量小于1ppb,經(jīng)過0.05微米孔徑過濾器過濾,控制0.2微米粒子,在100級凈化環(huán)境中灌裝達(dá)到SEMI C8標(biāo)準(zhǔn).
UP級:適用1微米集成電路及TFT-LCD制造工藝,金屬雜質(zhì)含量小于10ppb,經(jīng)過0.2微米孔徑過濾器過濾,控制0.5微米粒子,在100級凈化環(huán)境中灌裝,達(dá)到SEMI C7標(biāo)準(zhǔn)
EL級:金屬雜質(zhì)含量小于100ppb,控制1微米粒徑粒子,達(dá)到SEMI C1 C2標(biāo)準(zhǔn),適合中小規(guī)模集成電路及電子元件加工工藝
化學(xué)試劑中的電子級什么意思?
化學(xué)試劑中的電子級什么意思?
電子級分為：EL級、UP級、UP－S級
都各指什么意思?誰能幫我詳細(xì)解答下?
謝謝
電子級分為：EL級、UP級、UP－S級
都各指什么意思?誰能幫我詳細(xì)解答下?
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化學(xué)人氣：214 ℃時(shí)間：2020-05-15 06:00:28
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