也可用化學(xué)氣相沉積法,使SiCl4和N2在H2氣氛保護(hù)下反應(yīng),產(chǎn)物Si3N4積在石墨基體上,形成一層致密的Si3N4層.此法得到的氮化硅純度較高,其反應(yīng)如下：
SiCl4＋2N2＋6H2→Si3N4＋12HCl
有誰(shuí)知道四氯化硅SiCl4和氮?dú)釴2在氫氣H2的保護(hù)下反應(yīng)制取氮化硅的方程式
有誰(shuí)知道四氯化硅SiCl4和氮?dú)釴2在氫氣H2的保護(hù)下反應(yīng)制取氮化硅的方程式
化學(xué)人氣：454 ℃時(shí)間：2020-03-21 16:45:40
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