原理過(guò)程：
先測(cè)出薄膜的表面電阻率（方塊電阻）；
再根據(jù)薄膜的厚度等因素,計(jì)算出薄膜的電阻率；
再計(jì)算出薄膜的電導(dǎo)率.
（是否為“質(zhì)子電導(dǎo)率”,要有補(bǔ)充條件來(lái)說(shuō)明）方塊電阻就是表面電阻率嗎？可以采用這種四探針?lè)ㄖ苯訙y(cè)試薄膜的表面電阻率嗎？方塊電阻就是表面電阻率嗎？---是?？梢圆捎眠@種四探針?lè)ㄖ苯訙y(cè)試薄膜的表面電阻率嗎？---可以。