四探針法測量電阻率有個非常大的優(yōu)點,它不需要較準(zhǔn)；有時用其它方法測量電阻率時還用四探針法較準(zhǔn).
與四探針法相比,傳統(tǒng)的二探針法更方便些,因為它只需要操作兩個探針,但是處理二探針法得到的數(shù)據(jù)卻很復(fù)雜.如圖一,電阻兩端有兩個探針接觸,每個接觸點既測量電阻兩端的電流值,也測量了電阻兩端的電壓值.我們希望確定所測量的電阻器的電阻值,總電阻值：
RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT；
其中RW是導(dǎo)線電阻,RC是接觸電阻,RDUT是所要測量的電阻器的電阻,顯然用這種方法不能確定RDUT的值.矯正的辦法就是使用四點接觸法,即四探針法.如圖二,電流的路徑與圖一中相同,但是測量電壓使用的是另外兩個接觸點.盡管電壓計測量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓,但由于電壓計的內(nèi)阻很大,通過電壓計的電流非常小,因此,導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計,測量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值.
四探針法通過采用四探針法取代二探針法,盡管電流所走的路徑是一樣的,但由于消除掉了寄生壓降,使得測量變得精確了.四探針法在Lord Kelvin使用之后,變得十分普及,命名為四探針法.