直接鍵合（多用于Si-Si,SiO2-Si,SiO2-Sio2之間的連接）
陽(yáng)極/靜電鍵合（多用于Si和玻璃的鍵合,對(duì)表面粗糙度不那么敏感）
過渡層鍵合（在需要鍵合的兩種物質(zhì)間加類似粘合物的東東~）
MEMS有哪些鍵合類型
MEMS有哪些鍵合類型
其他人氣：980 ℃時(shí)間：2020-05-28 03:52:22
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