原理為臭氧對(duì)波長(zhǎng) λ=254nm紫外光具有最大吸收稀疏,在此波長(zhǎng)下紫外光通過臭氧層會(huì)產(chǎn)生衰減,符合蘭波特-比爾（Lambert--Beer）定律：I=Ioe-klc :Io-無臭氧存在時(shí)入射光強(qiáng)度；I-光束穿透臭氧后的光強(qiáng)度；L-臭氧樣品池光程長(zhǎng)度；C-臭氧濃度；K-臭氧對(duì)光波長(zhǎng)吸收系數(shù).
根據(jù)該公式,在K、L值已知條件下,通過檢測(cè)I/Io值即可測(cè)出臭氧濃度C值來.
紫外吸收法已被美國(guó)等國(guó)家作為臭氧分析的標(biāo)準(zhǔn)方法.
按應(yīng)用分為檢測(cè)空氣臭氧與檢測(cè)水溶臭氧兩種.均可連續(xù)在線檢測(cè),數(shù)字顯示并可記錄打印.優(yōu)點(diǎn)為檢測(cè)精度高,穩(wěn)定性好,其它氧化劑干擾小.缺點(diǎn)為價(jià)格較高.
由于沿面放電型的充氣管與陶瓷片臭氧發(fā)生裝置產(chǎn)生氮氧化物含量較高,應(yīng)采用紫外法檢測(cè)其臭氧濃度.
臭氧紫外檢測(cè)（分析）儀作為現(xiàn)代技術(shù)產(chǎn)品,具有完備的起提處理、光-電轉(zhuǎn)換、數(shù)據(jù)計(jì)算、分析及記錄功能.北京分析儀廠生產(chǎn)的8810型臭氧分析議,有0-10ppm、0-100pmm兩種產(chǎn)品.美、日、德等國(guó)家都有多種規(guī)格紫外分析儀生產(chǎn),檢測(cè)量最高為20mg/L.