純水和超純水一般都沒有統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn).是根據(jù)用戶的需求來規(guī)定.
一般意義上講純水至少應(yīng)該是去離子水,即水中大部分陰陽離子是應(yīng)該被去除的.細(xì)菌、懸浮物等的含量也應(yīng)是相當(dāng)?shù)偷?
目前水質(zhì)要求最高的超純水是半導(dǎo)體行業(yè),根據(jù)半導(dǎo)體芯片的大小和線徑的不同水質(zhì)要求也不一樣,其超純水的水質(zhì)指標(biāo)如下：
電阻率大于18.2兆歐（25攝氏度）；TOC（總有機(jī)碳）小于1到10ppb,DO（溶解氧）小于1到10ppb；Particle（顆粒）：0.05微米小于200個/升；離子含量大部分是小于20到50ppt；細(xì)菌檢測：無.