制備的方法很多,比如說：
（1）蒸鍍法.主要由磁控濺射、分子束外延等方法；
（2）旋涂法,就是將溶膠等通過旋涂的方法制備薄膜；
（3）化學法.比如采用表面氧化的方法可以制備氧化物薄膜等.
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