1．能否用四探針法測量n／n+外延片及p／p+外延片外延層的電阻率?
答：不能用四探針法測量同型外延片.
2．能否用四探針法測量n／p外延片外延層的電阻率?
答：能用四探針法測量異型外延片.
3．為什么測量單晶樣品電阻率時測試平面要求為毛面,而測試擴散片擴散層薄層電阻時測試面可為鏡面?
答：毛面較能保證金屬探針與樣品接觸良好,所以測量單晶樣品電阻率時測試平面要求為毛面."...測試擴散片擴散層薄層電阻時測試面可為鏡面..."其實當擴散片的測試面也為毛面時,對測量更好,但做擴散前已經(jīng)將表面拋光成了鏡面,并且擴散之后的擴散層的厚度較小,故不適合再研磨或吹沙,所以只能測鏡面.為了能使測量更準,就對探針的壓力和針尖有不同“毛面”的要求.
（供參考）回答很專業(yè)，非常感謝。能否具體說明一下為什么四探針無法測試同型外延片？同型外延片與異型外延片相比只是測試厚度更厚了，為什么就不能測呢？答：不是無法測試，而是測不準。同型外延指：在P型材料上外延一層P型材料，或在N型材料上外延一層N型材料。這樣外延層與襯底之間沒有“隔絕的界限（空間電荷區(qū)不明顯）”，這里不是“測試厚度”的問題。這時測出來的結(jié)果包含了襯底的貢獻，就不算準確了。（抱歉兩個問題一起作答。供參考）